UN-160开放式X射线源

UN-160开放式X射线源

一、产品概述

UN-160作为艾博纳(ABN)系列量产型号,是国产高端开管 X 射线源的代表,核心优势在于纳米级焦点(0.8μm)、160kV 高穿透与数字化智能控制,解决了晶圆、先进封装、多层堆叠芯片等高端产品的高精度检测难题,推动国内高端 X 射线源从技术突破走向规模化应用。

产品详情

一、产品概述

UN-160作为艾博纳(ABN)系列量产型号,是国产高端开管 X 射线源的代表,核心优势在于纳米级焦点(0.8μm)、160kV 高穿透与数字化智能控制,解决了晶圆、先进封装、多层堆叠芯片等高端产品的高精度检测难题,推动国内高端 X 射线源从技术突破走向规模化应用。

二、设备参数规格

参数类别               具体参数

焦点尺寸

0.8μm(JIMA 标准)

管电压

20kV - 160kV(可调)

管电流

0-200μA(典型值)

最大输出功率

约 8W(典型值)

射线锥角

≥150°

最小焦点 - 物体距离(FOD)

0.25mm(参考值)

几何放大倍率

可达 2800X(参考值)

靶材

钨靶(标准配置)

冷却方式

油冷 / 强制风冷(集成式)

控制系统

数字化智能控制,支持远程 / 本地操作

接口

RS - 232 / 以太网(用于数据交互与控制)

工作环境

温度 10-35℃,湿度≤70%(无冷凝)


三、产品特点

纳米级焦点成像:0.8μm 焦点尺寸,实现亚微米级分辨率,可清晰捕捉微小缺陷与精细结构。

高穿透能力:160kV 最高管电压,对高密度、厚层材料(如多层 PCB、半导体封装、金属铸件)穿透性强,适配高端检测场景。

开放式结构优势:可更换部件,维护成本低、寿命可控;大射线锥角(≥150°),适配大视场与高放大倍率检测需求。

数字化智能控制:集成高精度高压电源与数字控制系统,电压 / 电流调节精度达 0.1kV/μA 级别,支持参数存储、故障自诊断与远程监控,操作高效稳定。

集成化设计:高压发生器、X 射线管、散热系统一体化,体积小,适配工业 CT、AOI 检测设备等集成安装。

四、技术优势

焦点控制技术:电子光学系统精准聚焦,0.8μm 焦点稳定性高,长期工作漂移≤0.1μm,保证成像一致性。

高压稳定性:高频逆变高压电源,电压纹波≤0.5%,降低成像噪声,提升缺陷识别率。

真空与寿命管理:高低真空复合系统,真空度长期稳定在 10⁻⁷Pa 级别,延长阴极 / 靶材寿命;开放式结构支持灯丝、靶材更换,实现 “无限寿命” 维护模式。

智能化运维:实时监测管压、管流、温度、真空度等参数,异常时自动保护并预警,降低停机风险,提升设备利用率。

国产化自主可控:核心部件自研,打破进口垄断,交付周期短,售后响应快,适配国内半导体、电子制造等行业定制化需求。

五、应用场景与领域

半导体与微电子制造

晶圆制造:28nm 及以下制程晶圆的表面颗粒、划痕、层间缺陷检测,整片晶圆扫描与缺陷定位。

先进封装:2.5D/3D 封装、TSV 硅通孔填充完整性、微凸点焊接质量、金线 / 铜线键合检测。

功率器件:IGBT、MOSFET 等厚层封装的内部结构与焊点检测,确保高功率下的可靠性。

电子制造

高端 PCB/PCBA:多层板(12 层以上)的盲孔 / 埋孔导通性、内层短路 / 开路、BGA/CSP 封装焊点空洞与桥连检测。

汽车电子:新能源汽车功率模块、ADAS 传感器(如激光雷达 PCB)、车规级芯片封装的无损检测,保障行车安全。

工业无损检测(NDT)

精密铸造:航空发动机叶片、医疗植入物(如钛合金支架)等小型精密铸件的内部气孔、裂纹、缩孔检测。

复合材料:碳纤维增强塑料(CFRP)、蜂窝结构的层间脱粘、孔隙率检测,适配航空航天领域轻量化材料质量控制。

科研与实验室

材料科学:纳米材料、薄膜、电池极片的微观结构分析,X 射线衍射(XRD)与显微成像联用。

生命科学:小动物成像、生物样本(如组织切片)的结构观察,为基础研究提供高分辨率成像支持。

其他高端检测

医疗器件:植入式医疗器械(如心脏起搏器、人工关节)的封装密封性与内部组件装配检测。

新能源电池:锂电池极耳焊接、电芯内部结构、隔膜缺陷检测,提升电池安全性与循环寿命。