倒置金相显微镜

一、产品概述

倒置金相显微镜采用物镜位于样品下方的结构设计，样品直接放置在载物台上进行观察，无需进行倒置或特殊夹持。该结构特别适合大尺寸、重型或难以切割的样品，如晶圆、模具、铸件及机械零部件。倒置金相显微镜在工业检测和半导体领域中具有明显优势。

技术参数

1、光学参数

目镜：大视野无色差 SWF10X (Ф22mm) 。

物镜：无限远长距平场消色差物镜（无盖玻片），包括LMPIan5X/0.12DIC（工作距离 15mm）等多款，数值孔径和工作距离不同。

观察系统：微分干涉相衬板适用于部分物镜；目镜筒 45° 倾斜，瞳距调节范围 53 - 75mm。

2、机械参数

调焦机构：粗微动同轴调焦，带锁紧和限位装置，微动格值 2.0μm。

转换器：五孔（内向式滚珠内定位）。

载物台：机械移动载物台，外形尺寸 242mmX200mm，移动范围 30mmX30mm；圆形旋转载物台板尺寸最大外径 Ø130mm，最小通光口径小于 Ø20mm 。

3、照明参数：

12V 50W 卤素灯，亮度可调，内置视场光阑、孔径光阑与拉板式起偏器。

产品详情 ✓

一、产品概述

技术参数

1、光学参数

目镜：大视野无色差 SWF10X (Ф22mm) 。

物镜：无限远长距平场消色差物镜（无盖玻片），包括LMPIan5X/0.12DIC（工作距离 15mm）等多款，数值孔径和工作距离不同。

观察系统：微分干涉相衬板适用于部分物镜；目镜筒 45° 倾斜，瞳距调节范围 53 - 75mm。

2、机械参数

调焦机构：粗微动同轴调焦，带锁紧和限位装置，微动格值 2.0μm。

转换器：五孔（内向式滚珠内定位）。

载物台：机械移动载物台，外形尺寸 242mmX200mm，移动范围 30mmX30mm；圆形旋转载物台板尺寸最大外径 Ø130mm，最小通光口径小于 Ø20mm 。

3、照明参数：

12V 50W 卤素灯，亮度可调，内置视场光阑、孔径光阑与拉板式起偏器。

二、功能特点

倒置金相显微镜通常配备大行程、高承载能力的载物台，能够稳定支撑重型样品。显微镜支持多通道成像及数字化图像采集，便于进行大面积扫描和定量分析。系统可与自动对焦、自动载物台及在线检测系统集成，满足工业自动化检测需求。

三、应用场景与领域

在半导体制造领域，倒置金相显微镜被广泛用于晶圆表面缺陷检测、工艺评估及失效分析。在机械制造行业中，该设备适用于模具、铸件及大型零部件的表面组织观察。在生产线上，倒置金相显微镜可作为质量控制和过程监测的重要设备。

四、技术优势

无需对样品进行倒置或复杂制样，检测效率高；对大尺寸和重型样品适应性强；易于与自动化和信息化系统集成；适合工业环境下连续、批量检测。