ScanPro Advance高分辨高速多物理量扫描综合测试系统

主要技术参数*

ScanPro Advance结构设计

高稳定性光学光路

ScanPro Advance采用高稳定性显微镜支架设计，适合长时间稳定测试。

多色照明辅助对焦

5片颜色滤光片可以改变照明光的颜色。通过使用与激光波长相近的颜色光照明并调节聚焦，可以确保激光光斑准确聚焦于样 品表面。

层叠式光路

光电流测试功能

在光电流测试中ScanPro Advance提供两种不同照明光斑类型。匀化照明模块将激光转化为均匀的小光斑照射在样品上，并且 提供白色LED作为指示灯指示激光照射位置。光斑尺寸最小8微米（50倍物镜）。均匀的光斑也方便计算测试中的光功率密度。聚 焦照明光斑则将激光直接聚焦在样品表面形成微小的高斯光斑，光斑尺寸约1微米，可以定位在指定的位置激发样品，也用来进行 光电流扫描。

利用高精度压电位移台，ScanPro Advance可以在最大100微米的范围内进行定位精度高达20nm的扫描，由于光斑尺寸在 1μm左右，光电流扫描空间分辨率也为1μm。在光电流扫描过程中，由于器件本身的变化或者空气的干扰，暗电流同样会随时间变 化。如果器件的光响应较弱，扫描过程中暗电流的变化可能和光电流是相同量级的，造成图像模糊无法使用。Metatest Suite通过 控制激光器开关，在每一个数据点分别测量光电流和暗电流。由于在每一个数据点的两次测试时间间隔很短，暗电流变化很小，因 此可以准确的测量得到器件的光电流的数值，从而得到高分辨率的光电流扫描图像。选配锁相放大器进行光电流扫描同样可以避免 暗电流波动造成的影响。

Metatest Suite软件包将所有系统中的测试设备统一控制，并且可以进行最多4个（2组）参数的参数扫描，从而可以一次性测 量不同光强，不同电压下的光电流曲线。

光谱测试功能

405nm荧光光谱测试光路和532nm拉曼光谱测量光路对两个波长的激光进行了专门的优化，使用100倍物镜时具有衍射极限的 光斑，因此在光谱扫描中可以提供极高的空间分辨率。 ScanPro Advance采用自由空间光路设计，样品的拉曼/荧光信号通过反射镜直接聚焦于光谱仪狭缝，具有很高的收集效率。 光谱仪使用了制冷型探测器具有极低的热噪声，可以进行长时间积分，两者相结合保证了微弱光谱测试的准确性。利用高精度压电 位移台，ScanPro Advance可以在最大100微米的范围内进行定位精度高达20nm的扫描，由于光斑尺寸在500nm左右（532nm激 光），光谱扫描空间分辨率也为500nm。Scanpro Advance光谱测试软件具有光谱Mapping数据快速处理，自动平滑，自动计算 积分，平均值，峰值位置，峰宽度等信息。

偏振光谱测试

ScanPro Advance配备了电动起偏器和电动检偏器，可以自动调整入射激光的偏振方向。起偏器采用了固定的偏振片和可旋转 的半波片，在改变偏振方向的过程中激光能量没有变化。检偏器采用了宽带偏振片，可以覆盖250-4000nm的波长范围。Metatest Suite测试软件可以自动旋转起偏器或者检偏器，或者同步旋转起偏器和检偏器，旋转过程中可以自动记录光谱数据，从而快速测量 样品的偏振光谱数据。

荧光寿命光谱及Mapping

Scanpro Advance可以选配荧光寿命测试功能，仪器通道宽度64ps，适用于钙钛矿，量子点等荧光寿命超过500ps的样品。探 测器安装于光谱仪上，可以通过转动光栅扫描光谱，得到样品不同波长的寿命曲线。对于短寿命的样品，可以选配时间通道宽度最 小813fs的tcspc测试系统，配合高速探测器和皮秒激光，仪器响应速度约22ps，可以测量大于10ps的荧光寿命。

配合高分辨的样品扫描测试系统，也可以进行荧光寿命Mapping。数据处理软件可以自动处理Mapping数据，利用最多3个指 数进行拟合，并且直接生成不同参数的Mapping图片。

吸收光谱测试

ScanPro Advance可以选配卤素灯光源进行吸收光谱测试，光谱范围390-1100nm。

利用指示光纤，可以直接观察光谱收集的位置，从而测量指定区域的光谱。ScanPro Advance使用100微米光纤收集样品反射 光，在100倍物镜下测量区域仅2微米，从而可以方便的测量微小样品指定区域的吸收光谱。

利用背照式制冷型微型光谱仪高灵敏度低噪声的优势，单条光谱测试时间仅5ms，可以进行多次光谱平均准确测量样品的吸收 光谱。

电致发光光谱测试功能

电致发光光谱模块可以测量样品的电致发光光谱，制冷型的背照CCD型光谱仪有着灵敏的光响应，可以测量样品的微弱发光， 测量范围300-1100nm。在Metatest Suite软件包中，可以自动扫描样品的激发电压并且测量发光光谱。使用光电探测器可以在微 秒尺度上测量样品发光的响应速度，根据样品的灵敏程度可以选择硅探测器或者PMT探测器测量样品发射的光强。