C系列综合性分析探针台测试系统
一、产品概述
艾博纳 C系列综合性分析探针台测试系统 是一款面向半导体器件、二维材料、MEMS 及传感器器件的通用型电学测试平台，集成精密探针操控、稳定样品承载、显微观察与多接口电学测试能力，满足从基础 I–V / C–V 到多探针、低噪声分析的科研与教学需求。C系列以“结构稳定、操作直观、配置灵活、性价比高”为核心设计理念，适用于高校实验室、科研院所及企业研发部门，既可作为日常器件测试平台，也可作为综合测试系统的基础扩展单元。
一、产品概述
艾博纳 C系列综合性分析探针台测试系统 是一款面向半导体器件、二维材料、MEMS 及传感器器件的通用型电学测试平台，集成精密探针操控、稳定样品承载、显微观察与多接口电学测试能力，满足从基础 I–V / C–V 到多探针、低噪声分析的科研与教学需求。C系列以“结构稳定、操作直观、配置灵活、性价比高”为核心设计理念，适用于高校实验室、科研院所及企业研发部门，既可作为日常器件测试平台，也可作为综合测试系统的基础扩展单元。
二、系统特点与优势
1. 综合型探针测试平台：支持常规 I–V、C–V、四探针、漏电与击穿等测试；多通道探针布局，满足器件多端口测试需求
2. 稳定可靠的机械结构：高刚性底座与平台设计，降低测试过程中的位移漂移；手动粗调 + 微调结构，操作直观、维护简单
3. 精密探针操控能力：探针三维（XYZ）微调，支持多探针同步对准；兼容多种 DC 探针与低噪声测试线缆
4. 显微观察与对准友好：可配置长工作距离显微镜系统；支持同轴或倾斜观察，提升落针效率与重复性
5. 模块化配置，便于升级：电学接口、探针数量、样品台形式均可按需求配置；可与主流源表、LCR 表、低噪声放大器无缝对接
三、典型应用领域
半导体分立器件与集成器件的常温电学表征；二维材料器件（Graphene、TMDs）器件特性测试；MEMS / 传感器器件电阻、电容与稳定性分析；教学实验中的器件基础电学测试与演示