CB综合性分析探针台测试系统
一、产品概述
艾博纳 CB 综合性分析探针台测试系统 面向半导体器件、二维材料、MEMS 与新型材料器件的多维度电学与物性测试需求，集成高精度探针接触、稳定样品承载与环境控制、可扩展的电学测试接口与数据采集能力，实现从常规 I–V / C–V 到低噪声、多通道、原位分析的综合测试。CB 以“测试稳定性 + 接触可靠性 + 平台扩展性”为核心设计目标，支持科研场景下的快速搭建与长期重复测试，并可根据实验室的仪器体系（源表、LCR、锁相、低噪声放大器等）灵活配置，降低系统集成与维护成本。
一、产品概述
艾博纳 CB 综合性分析探针台测试系统 面向半导体器件、二维材料、MEMS 与新型材料器件的多维度电学与物性测试需求，集成高精度探针接触、稳定样品承载与环境控制、可扩展的电学测试接口与数据采集能力，实现从常规 I–V / C–V 到低噪声、多通道、原位分析的综合测试。CB 以“测试稳定性 + 接触可靠性 + 平台扩展性”为核心设计目标，支持科研场景下的快速搭建与长期重复测试，并可根据实验室的仪器体系（源表、LCR、锁相、低噪声放大器等）灵活配置，降低系统集成与维护成本。
二、系统特点与优势
1）综合测试平台，一机覆盖多任务
支持 I–V、C–V、四探针/范德堡、漏电与击穿、脉冲电学等
多通道输入/输出接口，适配不同测试链路与屏蔽要求
2）高稳定机械与精密操控
高刚性平台结构，减少接触漂移与振动引入
探针三维微调（XYZ），可选 θ 旋转/摆角结构
支持多探针同步对准，提高效率与一致性
3）可选环境与原位能力（按实验需求配置）
可选：真空/控气氛、加热/控温、光照/光电测试
可选：显微观察系统（同轴/倾斜/长工作距），便于精确落针与定位
4）低噪声与电磁屏蔽设计思路
腔体屏蔽/接地拓扑优化，降低工频与环境耦合
支持 BNC / Triax / SMA 等接口组合，满足低电流与高频测试需求
5）模块化扩展，便于升级
支持与 Keithley/Keysight 等测试仪表快速对接
支持按“教学版 / 科研版 / 高阶版”分档配置
三、典型应用
半导体器件（MOS、二极管、TFT、功率器件）常温/变温电学测试
二维材料器件（石墨烯、TMDs、hBN）接触电阻、迁移率、门控特性
MEMS/传感器（压力、电容、微结构器件）参数提取与可靠性评估
光电器件（光电导、光伏、探测器）光照 I–V、响应曲线、暗电流分析