CM半自动探针台
艾博纳 CM半自动探针台是一款面向半导体器件、二维材料与微纳电子研究的科研级电学测试平台。系统采用“电动精密运动 + 人工精细调节”的半自动设计理念，在保证定位精度、探针接触稳定性与测试重复性的同时，兼顾系统结构简洁性与成本可控性，适合高校、科研院所及企业研发实验室长期稳定使用。CM以高刚性载物平台为核心，支持 XYZ 精密位移与微米级定位控制；多自由度探针系统可实现探针在 XYZ 方向及俯仰、偏摆角度的精细调节，满足微区电极和微纳器件的可靠接触需求。系统可灵活搭配金相显微镜或长工作距离显微成像系统，实现样品的实时观察与精准对准。
艾博纳 CM半自动探针台是一款面向半导体器件、二维材料与微纳电子研究的科研级电学测试平台。系统采用“电动精密运动 + 人工精细调节”的半自动设计理念，在保证定位精度、探针接触稳定性与测试重复性的同时，兼顾系统结构简洁性与成本可控性，适合高校、科研院所及企业研发实验室长期稳定使用。CM以高刚性载物平台为核心，支持 XYZ 精密位移与微米级定位控制；多自由度探针系统可实现探针在 XYZ 方向及俯仰、偏摆角度的精细调节，满足微区电极和微纳器件的可靠接触需求。系统可灵活搭配金相显微镜或长工作距离显微成像系统，实现样品的实时观察与精准对准。
一、技术特点
（1）半自动精密定位系统：电动 XYZ 载物台结合人工微调机构，兼顾操作效率与精度控制（2）高稳定性机械结构：整体高刚性设计，有效降低机械振动对低电流、低噪声测试的影响（3）多自由度探针调节：支持探针 XYZ 微调、俯仰角及偏摆角调整，提高探针接触成功率（4）良好的系统兼容性：可兼容多种探针臂、显微镜与电学测试仪器（源表、LCR 表等）（5）面向科研与教学优化：操作直观、维护成本低，适合器件研究与教学实验并行使用
二、主要技术参数
机械运动参数
项目 | 参数 |
载物台类型 | 半自动 XYZ 精密载物台 |
X / Y 行程 | ≥ 50 mm × 50 mm |
Z 轴行程 | ≥ 10 mm |
最小步进 / 分辨率 | ≤ 1 μm |
重复定位精度 | ≤ ±2 μm |
最大样品尺寸 | 4 英寸晶圆（可定制更大尺寸） |
样品固定方式 | 真空吸附 / 机械压紧（可选） |
探针系统参数
项目 | 参数 |
探针臂数量 | 标配 2–4 臂（可扩展） |
探针调节自由度 | XYZ 微调 + 俯仰 / 偏摆角调节 |
探针最小进给分辨率 | ≤ 1 μm |
探针兼容性 | 同轴探针、直流探针、射频探针（可选） |
最大测试电流 | mA 级（取决于探针与线缆配置） |
显微与观测系统
项目 | 参数 |
显微系统类型 | 金相显微镜 / 长工作距离显微系统 |
观察方式 | 明场 / 暗场（可选） |
对准方式 | 实时显微观察手动对准 |
相机接口 | USB / HDMI（可选） |
电学测试接口
项目 | 参数 |
测试接口 | BNC / 三同轴（可选） |
兼容仪器 | 源表、LCR 表、参数分析仪等 |
应用测试 | I–V、C–V、低电流测试等 |